DIN 32564-2-2004 微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
作者:标准资料网 时间:2024-04-20 22:30:02 浏览:8264
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【英文标准名称】:Productionequipmentformicro-systems-Termsanddefinitions-Part2:Basictechnologiesandproduction
【原文标准名称】:微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
【标准号】:DIN32564-2-2004
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2004-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:工件;微技术;制造;半导体工程;定义;设备结构;标准方法;精密机械;加工设备;术语;标准化;生产;设备工程;制造用设备;加工工程
【英文主题词】:
【摘要】:Thisdocumentdefinesterms,whichrelatetothebasictechnologiesusedfortheproductionofmicro-systems.Itspurposeistoeasethecommunicationabouttechnicalissuesbyharmonizationofthevocabulary.#,,#
【中国标准分类号】:N04
【国际标准分类号】:39_020;01_040_39
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:微系统用制造设备.术语和定义.第2部分:基本技术和生产
【标准号】:DIN32564-2-2004
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2004-05
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:工件;微技术;制造;半导体工程;定义;设备结构;标准方法;精密机械;加工设备;术语;标准化;生产;设备工程;制造用设备;加工工程
【英文主题词】:
【摘要】:Thisdocumentdefinesterms,whichrelatetothebasictechnologiesusedfortheproductionofmicro-systems.Itspurposeistoeasethecommunicationabouttechnicalissuesbyharmonizationofthevocabulary.#,,#
【中国标准分类号】:N04
【国际标准分类号】:39_020;01_040_39
【页数】:5P;A4
【正文语种】:德语
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